微动平台相关论文
作为精密运动的执行机构,压电致动器具有位移分辨率高、频率响应快以及热变形小等优点,广泛应用于微纳制造与精密测量领域。然而,......
随着精密制造、精密测量等技术的发展,其对工作环境的振动要求越来越高。传统的被动隔振方法已经不能满足时变振动的抑制要求。磁......
随着现代科技的发展,具有特殊微结构表面的零件被广泛应用于航空航天、生物技术、医学、测量和军事等领域。表面微结构的高效、高......
在众多精密微操作任务中,微动平台系统性能优劣直接影响着工作质量与效率。通常,微动平台需要在多个方向上兼具数百微米的工作范围......
近年来,随着纳米制造技术的蓬勃发展,国内外学者对压电致动器展开了深入的研究。相较于传统致动器,压电致动器直接将电压信号转化......
基于视觉的监测系统在野外进行长期工作时,安装了监测系统的平台自身会发生6-自由度(6-DOF)的微小晃动,从而给测量结果带来较大的......
随着科学技术的迅猛发展,尖端工业生产逐渐向着微纳米级别的方向发展,其中在微小加工制造和研究的领域内,精密定位技术已成为核心......
精密定位技术广泛应用于高端仪器设备(如光刻机、扫描电子显微镜等)、航空航天、微纳操作和医疗等众多领域。由于具有精度高、刚度......
精密工程技术在航空航天和精密机械等尖端技术领域中被广泛应用,但随着科学技术的快速发展,各个领域都对微动系统有着迫切的需求,......
以扫描探针显微镜和激光扫描共聚焦显微镜等为代表的超精密科学检测仪器是人类探索微观世界的基础工具，在纳米科技的诸多分支学科中......
振动是提高纳米测量精度的主要障碍之一。抗振、隔振、振动补偿技术成为纳米测量领域中的一大分支，特别是纳米级振动测试技术的发展......
随着科技的进步,通信工程、精密工程等领域的快速发展,高精度、高分辨率、高可靠性的精密定位系统的研究越来越受到重视,发展也越......
针对目前日益增多的超精密仪器仪表,一般给其提供良好工作环境的工作平台只能消除外界对其的振动干扰,对于仪器仪表自身各种执行机......
通过微机校正方法消除了电致伸缩微位移器的非线性，并采用数字ＰＩＤ方法改善了它的动态特性。研制出一套实用控制系统，实现了电致伸缩微位......
