微立体光刻相关论文
复杂三维微纳结构广泛应用于微机电系统、微流控芯片、微型光学元件、微型传感器等领域。传统的微纳加工方式成本高、耗时长,且无......
微管道用于电子芯片的冷却已引起极大的关注，相应地对微管道的制造方法及传热分析的需求也与日俱增。本文首先针对微管道的制造问题......
综述了国内外最近几年微立体光刻技术的研究进展。阐述了微立体光刻技术中的线扫描技术及面投影技术的基本原理及分类，分析了它们的......
