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本文通过对Cu原子在Cu(100)表面的扩散、Cu原子岛在Cu(100)表面的构型演化以及Cu薄膜的二维Monte Carlo脉冲沉积的模拟，研究与Cu薄......

为了研究Ti-Si-N薄膜生长过程中界面的形成,采用第一性原理计算了在TiN(001)表面上3N-2Ti-1Si、4N-1Ti-1Si和4N-2Ti-1Si岛的各构型......