正交超声驻波相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

正交超声驻波相关论文

超声驻波场粒子二维运动控制机理与模型研究

为了将正交超声驻波技术用于多晶硅陷光结构网格化微加工,以达到均匀加工的目的,本文从理论、模拟和实验等方面研究了粒子由无规则......

期刊

正交超声驻波粒子控制多晶硅网格化微加工 Orthogonal ultrasonic standing wave Particle control Mu

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