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本文利用多弧离子镀(Arc ion plating,AIP)技术,制备了不同沉积参数的AlTiN和TiAlSiN纳米多层薄膜,利用X射线衍射(XRD)、X射线光电......
采用射频磁控溅射法制备了具有高饱和磁化强度的 Fe-N 薄膜。系统研究了氮气分压、基底温度,溅射功率等制备工艺条件对 Fe-N 薄膜结......
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利用电弧离子镀技术在钛合金表面制备CrNx薄膜,分析讨论氮气分压对薄膜表面形貌、相组成和微观结构的影响.结果表明,随着氮气分压......

