激光切片相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

激光切片相关论文

玻璃类材料脉冲激光点蚀分离方法研究

半导体的生产对超薄晶片的需求不断增长。但是,在当前的制造工艺过程中,切割工序会造成晶体材料50%的浪费率。为了提高材料利用率......

学位

激光切片纳秒激光有限元仿真改性层表面粗糙度

厚硅片的高速激光切片研究

基于激光切片原理的分析,给出了厚硅片的高速激光切片方法,采用平凸腔补偿工作物质的热透镜效应,利用Nd∶YAG棒本身的自孔径选模作......

期刊

激光技术全固体激光器声光调Q 激光切片硅片

看过本文同时还关注