激光干涉光刻相关论文
近年来,激光干涉光刻技术成为了人们的研究热点。作为制备周期性微纳结构的有效手段之一,激光干涉光刻具有无需掩膜、成本低廉、高......
偏振成像探测技术为特殊环境下提高对目标的探测能力提供了新的成像手段。根据偏振信息收集方式以及观测成像场景的不同,常用的偏......
分布反馈式(DFB)半导体激光器具有优良的稳定性和单模性, 广泛应用于激光器抽运和光通信等领域。光栅作为DFB激光器的关键部件, 对......
纳米、微米尺度的表面结构优化可以有效改善材料表面性能。微纳结构功能表面研究是表面工程领域的热点方向。其中,固体材料表面光......
亚波长金属光栅结构是近年来迅速发展起来的纳米功能元件之一。将亚波长光栅结构和GaN基LED发光芯片集成一体，在提高出光效率的同时......
硅基薄膜太阳能电池以成本低、无毒、材料丰富等优势,已经成为晶硅电池发展的主流方向。但是,硅吸收层厚度的减少导致电池的光电转......
表面浸润性是固体表面一个非常重要的特性，它是由化学组成和表面结构共同决定。超疏水表面在国防、日常生活和工业领域中有着广泛的......
亚波长金属光栅结构是近年来迅速发展起来的纳米功能元件之一。将亚波长光栅结构和GaN基LED发光芯片集成一体,在提高出光效率的同......
增加光的吸收率是提高光伏电池效率的重要措施之一,而光伏电池特性测试是评价光伏电池性能的重要手段。激光干涉光刻技术为制作高......
应用三光束激光干涉光刻制备双周期光栅结构.并在结构上培养人肺癌上皮细胞,用扫描电子显微镜评价该光栅结构.另外形态学观察该结......
将涂有光致抗蚀剂的硅片或其它光敏材料置于由多束相干光以某种方式组合构成的干涉场中,可以在大视场和深曝光场内形成孔、点或锥......
光学光刻技术在微细加工和集成电路(IC)制造中一直是主流技术。随着IC集成度的提高,要求越来越高的光刻分辨力,但光学光刻的分辨极......
