激光微孔加工相关论文
针对采用激光加工涡轮叶片等薄壁腔体微孔时存在背伤的问题,采用填充材料阻隔法切断激光能量传输路径的方式进行背伤防护。研究了......
人造单晶金刚石传统的激光打孔方法采用“轮廓法”。该方法的缺点是越靠近孔的中心剥去的材料越多,精确的孔型难以得到。本文在理......
在三维芯片的封装工艺中,晶圆微孔如硅通孔(Through silicon via,TSV)的制备是其中的重要环节,其微孔质量是保障封装工艺与互连特......
