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硅尖阵列—敏感薄膜复合型阴极真空微电子压力传感器特性的测试
封装、测试了硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极的真空微电子压力传感器,在计算机模拟计算的基础上,对封装好的真空微电子压力传感器进......
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真空微电子压力传感器
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硅尖阵列-敏感薄膜复合型阴极
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