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立方相碳化硅相关论文
3C-SiC纳米线的制备与发光性能研究
立方相碳化硅(3C-SiC)的力、热、光和电学性能非常优异,这使得它在高温、大功率、高压、高频等极端条件下的应用前景很广泛。3C-Si......
学位
立方相碳化硅
纳米线
生长机理
光致发光
硅纳米晶
立方相SiC MEMS器件研究进展
主要介绍了近年来国内外出现的有市场推广潜力的立方相碳化硅(3C-SiC) MEMS器件,详细描述了其中一些典型器件的基本结构、加工工艺......
期刊
立方相碳化硅
MEMS器件
基本结构
加工工艺
测试结果
可靠性
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