综述了国外近十多年来双面对准曝光机及其对准技术的发展，介绍了以面曝光机采用的红外对准技术和Ｋａｒｌ Ｓｕｓｓ、ＪＢＡ、ＯＡＩ、ＵＳＨＩＯ Ｉｎｃ、Ｕｎｉｏｎ、Ｅｌｅｃｔｒｎｉｃ Ｖｉｓｉｏｎｓ Ｃｏ。等公司研制的......