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组合刻蚀法相关论文
组合刻蚀法制备窄带滤光片列阵
介绍了组合刻蚀法制备窄带滤光片列阵的基本原理和制备工艺,这是一种效率非常高的制备方法,只需N次刻蚀就可以完成2N通道窄带滤光......
期刊
光学器件
滤光片
集成
组合刻蚀法
列阵
制备
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