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随着计算机技术的飞速发展,极光滑表面、极小飞行高度以及超高密度是未来硬盘的发展趋势。超高密度硬盘的磁头磁盘间隙将降至5nm以......
微电子机械系统是一项有广泛应用前景的实用技术.这里对微装配的必要性、微操作作业的特性及其中的力特性和表面力的消除办法进行......
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以MEMS动平板模型为研究对象,建立了微间隙动平板表面粘附阻力的理论模型,利用界面化学中表面能和粘附功的概念,推导出了光滑平板......

