超声表面波相关论文
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激光激发超声表面波技术是一种准确、快速、无损的检测技术,适用于表征ULSI互连薄膜的参数。本论文深入研究了超声表面波在ULSI互......
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本文基于声弹性理论研究了超声表面波在固体材料近表面的传播特性和表面应力之间的关系,优化了表面波声弹性公式,建立了结构表面应......
利用超声表面波在分层结构中传播的频散特性来测量薄膜的机械特性具有准确、快速、对材料无损伤等突出优点.本文研究了在Si(100)衬......
