退火实验相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

退火实验相关论文

磁控溅射制备SnO2:F薄膜及其透明导电性能研究

透明导电氧化物（TCO）薄膜是一种同时拥有优异的导电性能与可见光区的高透光性的功能薄膜材料。由于这种特殊性质，透明导电薄膜被广泛......

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磁控溅射 FTO薄膜混合气氛透明导电性能退火处理

高k叠栅结构与FinFET器件的电特性研究

集成电路工艺的不断发展使得器件的特征尺寸接近电子的德布罗意波长,量子效应变得十分明显。电子的直接隧穿效应将导致栅介质的泄......

学位

高k叠栅结构 FinFET器件 MIS电容电压 SiO2叠栅漏电流原子层淀积退火实验

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