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大马士革铜互连线织构的研究(英文)
采用EBSD研究了不同线宽和退火前后Cu互连线的织构和晶界特征分布.Cu互连线均具有多重织构,其中(111)织构强度最高.沉积态样品在室......
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Cu互连线
织构
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重合点阵晶界
电子背散射衍射
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