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非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体刻蚀化学气相沉积金刚石膜
分别应用郎缪尔双探针和离子灵敏探针对非对称磁镜场电子回旋共振氧等离子体的电子参数、空间分布和离子参数进行了测量,分析了气......
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非对称磁镜场
电子回旋共振
氧等离子体
刻蚀
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