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非晶氟化碳相关论文
用EGR-CVD方法制备非晶氟化碳薄膜
以C4F8为源气体,Ar为稀释气体,用电子回旋共振化学汽相淀积的方法制作了非晶氟化碳薄膜;使用XPS和FTIR分析薄膜的化学组分和成键类......
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电子回旋共振
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