高次非球面相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

高次非球面相关论文

大数值孔径产业化极紫外投影光刻物镜设计

极紫外光刻技术（EUVL）是半导体制造实现22 nm及以下节点的下一代光刻技术,高分辨投影物镜的设计是实现高分辨光刻的关键技术。为设计......

期刊

物镜数值孔径光学设计光刻技术高次非球面视场非球面反射镜调制传递函数波像差光刻机

大口径高次非球面补偿检测方法的研究

大口径光学系统具有更高的成像分辨率,更强的集光能力,因此在天文望远镜、空间成像系统等有着很多应用。随着光学加工技术不断进步......

学位

高次非球面三级像差补偿检测法线像差干涉仪

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