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随着光伏发电、风力发电、氢能源等新能源技术的迅速发展,全球化石能源正在逐步被清洁新能源取代。将太阳能、风能、地热能、海洋......
利用注入离子在固体中传输理论和辐照增强扩散理论建立了金属离子高温注入金属Al靶的传质模型,计算了金属离子高温注入的浓度-深度......
采用离子与固体相互作用理论和辐照增强扩散理论建立了金属离子高温注入的传质模型,利用有效形成热理论建立了金属离子高温注入合......
金属离子高温注入是一种重要的表面合金化工艺,是在大束流密度轰击或辅助热源加热条件下实现的高温基体注入工艺。较常规离子注入,......
针对SiC功率器件工艺制程中离子注入和激活退火的技术难题,利用爱发科公司自行设计并开发的高温离子注入设备(ULVAC,IH-860DSIC)、......
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本文针对金属离子高温注入金属靶的传质机制进行了理论计算和实验研究。首先，结合粒子与固体相互作用理论与辐照增强扩散理论建立了......
