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采用微波等离子体化学气相沉积法在Si基片上用乙醇和氢气沉积了金刚石薄膜。沉积前用金刚石微粉研磨基片可以促进金刚石形核。通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)观察分析了薄膜的表面形貌及成分组成。
微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜
【摘 要】
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采用微波等离子体化学气相沉积法在Si基片上用乙醇和氢气沉积了金刚石薄膜。沉积前用金刚石微粉研磨基片可以促进金刚石形核。通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射(XRD)观察
【机 构】
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西安交通大学理学院，陕西西安710049
【出 处】
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陕西省物理学会2008年学术年会
【发表日期】
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2008年12期
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