采用可调二极管激光器对双频容性耦合等离子体中Ar原子亚稳态的温度和亚稳态1S5和1S3数密度进行诊断。考察了放电功率,气压,电负性气体02和电源频率对Ar亚稳态温度和数密度的影响。发现在功率小于70W,气压小于5Pa时,Ar亚稳态数的温度和密度随功率升高而快速升高,功率大于70W后Ar亚稳态数密度随功率升高缓慢升高。随气压升高,Ar亚稳态温度和数密度降低。同时,没有明显的随功率升高而出现的快速和慢速上升的阶段。电负性气体氧气的加入对Ar亚稳态具有明显的淬灭作用,加入1%的电负性的O2,就会导致Ar亚稳态的温度和数密度显著下降。并且随O2浓度的继续升高,Ar亚稳态的温度和密度不会进一步明显降低。高频和低频功率源对Ar气DF-CCP放电中起到不同的机制,其中高频功率源为主要功率源,对电子密度的升高起到主要作用,而低频功率源主要对电子能量进行调制。随高频功率的升高,Ar亚稳态数密度省升高速率明显快于低频功率源。