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该文作者从1994年开始,进行了β-C<,3>N<,4>晶体的合成制备工作,通过艰苦的努力和探索,采用热丝辅助射频等离子体溅射和等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术成功的制备出含有β-C<,3>N<,4>晶态的CNx薄膜.
CNx薄膜的制备与结构分析
【摘 要】
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该文作者从1994年开始,进行了β-CN晶体的合成制备工作,通过艰苦的努力和探索,采用热丝辅助射频等离子体溅射和等离子体辅助化学气相沉积(PECVD)技术成功的制备出含有β-CN晶
【机 构】
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兰州大学
【出 处】
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兰州大学
【发表日期】
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1997年期
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