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微位移技术作为精密机械与精密仪器的关键技术之一,在微电子技术、航空航天、生物工程等方面有着重要的作用。柔性机构具有高精度、无摩擦、免装配、可整体加工等优点,压电驱动器具有分辨率高、响应快、精度高、刚度大、输出力大及结构紧凑等优点,因此当前纳米级精度微位移定位和运动一般使用压电陶瓷驱动器驱动柔性机构来实现。然而压电驱动器的输出位移很小,一般只有几十微米,因此需要对压电驱动器的输出位移进行放大。目前,
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