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微透镜阵列慢刀伺服车削加工误差分析和优化
【摘 要】
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微透镜阵列作为一种光学微结构,具有单元尺寸小、质量轻、集成度高等优点,可应用于许多新型光学系统中,实现传统透镜无法实现的新功能,在照明、传感、成像、光通讯等领域具有广泛的应用。因此,近年来国内外许多研究机构在微透镜阵列的结构设计和加工技术等方面的研究投入了大量的资金和人力。采用超精密机械方法加工微透镜阵列具有精度可控性强、尺寸一致性高、加工尺寸达到微米级等特点,慢刀伺服车削是加工微透镜阵列的重要方
【机 构】
:
广东工业大学
【出 处】
:
广东工业大学
【发表日期】
:
2019年01期
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