GaN基蓝光LED的研制

来源 :北京工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fsongyifa
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
GaN基蓝光LED是国际上倍受重视,并大力发展的重要半导体光电子器件。它在动态显示平板实现全色显示,半导体日常照明等领域都具有广阔的应用前景和巨大的社会、经济效益。传统的GaN基蓝光LED由于自身材料的特性存在着光提取效率低,总辐射功率小等缺点,鉴于此本文主要从理论和实验研究了以蓝宝石为衬底的GaN基蓝光LED的电流扩展和光逸出过程,并使用倒装焊技术使器件的总辐射功率有了明显的提高。 本论文在国家863项目(No.2004AA311030)、国家自然科学基金(No.60506012)、北京市教育委员会科技发展计划重点项目(KZ200510005003)、信息产业部和北京市科委(D0404003040221)的支持下,针对后两个难题展开研究,提出并通过实验验证了问题的解决方案。 本文的主要研究内容包括:1.对GaN基蓝光LED的发光机理和现在遇到的一些问题进行了详细的阐述,在理论上分析了以蓝宝石为衬底的GaN基蓝光LED的电流扩展模型,从而改进了电极结构,使得器件电流分布更加均匀,改善了器件的散热特性,老化特性,光辐射功率都有了明显的改进与提高。2.本文简单介绍了整个器件的制作过程,阐述了各个单项工艺的原理以及在GaN基LED制备上的应用,详细分析了倒装焊技术在器件表面安装上的应用。3.详细研究了超声焊接的原理、模型以及使用方法,并通过理论和实验的分析得到了优化的焊接工艺,使器件取得了良好的光电特性。4.指出倒装焊技术应用到以蓝宝石为衬底的GaN基蓝光LED上的关键是器件表面电流扩展层,电流扩展层除了要具有良好的电流扩展特性,同时要具有对蓝光的高的反射率。本文采用Ni/Au/Al金属层制备器件的电流扩展层及反光镜,并通过一系列实验研究了整个欧姆接触的制作过程,分析了不同的退火条件对器件性能的影响,得到了良好的电流扩展层,高的反射率使器件性能有了改善。5.GaN基LED各层材料折射率不同而引起的波导效应对于器件的出光效率起着很重要的限制作用。对于蓝宝石表面的粗化虽不能从根本上解决光提取效率低的问题,但能减小蓝宝石和空气界面的反射作用,提高光提取效率。本文使用不同大小的磨抛颗粒对蓝宝石进行研磨,并且测出不同的表面粗糙度,表面粗糙度下器件的总辐射功率,器件的总辐射功率在表面粗糙度Ra=219.25nm时较Ra=3.91nm提高了35%。 通过本文所述的工作,最后得到了总辐射功率为143.19mW的大功率器件(1000×1000μm2)和14.00mW的倒装小功率器件(300×300μm2)。
其他文献
目的:本课题旨在研究CACNA1C基因在低硒小鼠心肌组织中的表达,探讨氧化应激状态对CACNA1C基因表达的影响。方法:采用低硒饲料(硒含量0.0045 ug/g)喂养的方法建立低硒小鼠模型,分
本文设计了一种新颖的对温度高阶补偿的带隙基准和一种对温度一次补偿的电流基准,并使用一种新的补偿方法设计了一种100mA的LDO。仿真结果表明这种补偿方法很好的克服了使用源
本文详述了嵌入式视频会议系统软件的开发过程,并对H.323协议、音视频传输和嵌入式实时处理技术进行了深入的分析。 本论文分如下四个部分进行详细阐述:第一,介绍了本课题的
近年来德育教育的低效性越来越受到广大德育工作者的重视,而产生这种原因在于如今德育培养,老师对学生过多的科学说教和德育知识灌输,从而忽视了对学生道德信念的培养,特别是小学
本课题对基于导弹导引舱内的图象处理系统现场再配置的途径进行了研究。该图像处理机的核心器件主要有DSP和FPGA,这两个部分都需要有软件来配合使用才能使系统更加灵活,功能
表面等离子体共振(SPR)技术作为一种新型的生物传感技术,能够实现对生物反应无标记、实时动态检测。近年来受到了越来越多的关注,成为生物传感领域的研究热点。 本文是在课
目的:建立长效干扰素α-2b融合蛋白的蛋白表达、纯化方法及对其药代进行初步研究   方法:获得工程细胞株:干扰素α-2b融合蛋白的质粒用PvuⅠ酶线性化后,采用200 V电转导入真核
本文设计了一款智能AC-DC单片开关电源集成电路,其内部集成了650V的高压功率管、控制电路及保护电路,可广泛应用于小功率反激型开关电源系统中。 芯片里包含基准电压源、电
键合技术(BondingTechnology)是随着集成电路和微机械的发展而出现的一种加工技术。键合是指不利用任何黏合剂,只通过化学键和物理作用将硅片与硅片、硅片与玻璃或其他材料紧
本文对EPON系统MII接口的FPGA设计及其数字IC形式验证流程进行了研究。文章首先介绍了形式验证特别是等价性验证技术的基本理论,并详细介绍了等价性验证算法的实现过程。其次