【摘 要】
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微光机电系统（MOEMS）是近几年在MEMS技术中发展起来的一种新技术系统，它相比于传统的微机电器件可实现高度的集成化和功能一体化，目前已成为全球的最热门的技术系统之一。其中，光学微环谐振腔凭借其突出的光学性能、可靠的稳定性以及极高的灵敏度，已成为构建新型MOEMS器件的新途径。本论文将微环谐振腔耦合系统与悬臂梁作为传感单元，以微环谐振腔在微纳尺度下的力光耦合效应和应力双折射效应为传感机理，开展面
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微光机电系统（MOEMS）是近几年在MEMS技术中发展起来的一种新技术系统，它相比于传统的微机电器件可实现高度的集成化和功能一体化，目前已成为全球的最热门的技术系统之一。其中，光学微环谐振腔凭借其突出的光学性能、可靠的稳定性以及极高的灵敏度，已成为构建新型MOEMS器件的新途径。本论文将微环谐振腔耦合系统与悬臂梁作为传感单元，以微环谐振腔在微纳尺度下的力光耦合效应和应力双折射效应为传感机理，开展面向加速度检测的传感应用研究。由于传感性能主要由微环谐振腔的光学特性来决定，因此对耦合系统开展了深入
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