该文首次采用电流镜像法、通电线圈和永磁体等效规则、快速傅立叶变换(FFT)法对这种结构的电感器进行模拟,模拟结果和FEM法模拟的结果取得了较好的吻合,极大地提高了计算的速度,在个人PC机上模拟出这种结构电感器空间磁场的分布只需1分多钟.从我们的模拟结果可以看出,在线圈面积固定不变的情况下,相对于空芯平面线圈电感器,薄膜平面线圈电感器的电感量L提高50﹪以上,Q值可以达到8,足以满足实际应用的需要.根据线圈电感量L与线圈匝数、导电线圈高度、薄膜厚度等结构参数关系的模拟结果可知,在高频下,薄膜有一个最佳厚度t,使电感器的电感量达到最大;随着线圈高度的增加,电感器电感量L迅速下降,同时品质因子Q缓慢提高.据此,我们对电感器的加工参数和结构参数进行了优化.最后,结合电感器模拟的结果,从减少电感器薄膜涡流损耗和提高薄膜谐振频率的角度出发,我们提出对电感器的制备工艺进行改进,设计了这种薄膜平面射频集成电感器的制备工艺流程,该制备工艺与集成电路制备工艺是兼容的.