光电编码器作为一种高精度的角度传感器,在军事、航天、医疗、工业生产等各领域应用广泛。随着精密测量技术发展,光电编码器的精度不断提高,对光电编码器精度的标定也越来越受到重视。鉴于现有的光电编码器标定方法并未对标定误差的补偿进行研究且大多存在标定过程操作复杂,效率低,自动化程度低等不足,本文开展了基于误差补偿的高效、高精度、高自动化的光电矩阵编码器标定方法的研究。本文首先分析了光电编码器标定的基本原理,在直接比较法的基础上,建立了一种基于误差补偿且以双频激光干涉仪测量角度为基准的光电矩阵编码器标定方法。其次,本文依据所研究的光电矩阵编码器标定方法,构建了光电矩阵编码器标定系统,详细介绍了标定系统的组成及各部分功能的实现。再次,本文对标定系统的误差来源进行了深入分析,提出了轴系转角误差的检测方案,并进行了检测实验。根据轴系转角误差的检测结果,建立了误差补偿模型,同时分析了多种误差补偿模型的算法,并通过补偿实验对模型的补偿效果进行了对比验证。最后,本文编写了光电矩阵编码器标定系统软件,对光电矩阵编码器进行标定实验,并进行了与传统手动编码器标定方法的对比实验,实验结果显示,经过误差补偿后系统的标定结果准确可信,本文所研究的编码器标定方法是可行有效的。