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本文主要讨论薄膜外延增长模型的数值分析。这里应用一个修正的偏微分模型来逼近外延增长模型,并通过Faedo-Galerkin方法来验证新模型的适定性。通过空间方向用Galerkin谱方法、时间方向由隐格式、两种半隐格式及两种Crank-Nicolson格式离散模型来分析模型的收敛性和误差.文章最后给出一个数值例子。