在半导体、液晶器件的制造、装配和检测等行业，现在迫切需要大行程、高精度的工作平台。 本文首先介绍了国内外精密平台的研究现状和发展趋势，讨论了目前研究很少的用超声波直线电机驱动的精密平台，比较了超声波电机与电磁电机在驱动精密平台的特点和优点。研究了直线超声波电机的特性。并在文中介绍了几种典型的驱动方法和控制方法，基于这些分析和该领域的研究成果，结合本实验室设备，设计并制造了一套包括机械部分、测量部分和控制部分的精密平台样机，其工作原理是在直线超声波电机驱动的摩擦驱动方式下同时实现高精度，大行程的目的。并通过实验验证了本精密平台的完整性、可行性。 本文驱动和控制系统是基于ATMEL公司的AT89S52芯片设计的。根据系统的特点设计了AT89S52与ADC0809的接口电路。在软件的设计方面，根据超声波电机的特点，选用了反应速度较快的汇编语言来编写程序。 最后，在实验室现有的仪器设备的情况下完成了本实验平台各项参数的测量工作，为以后的精密平台的升级提供了参考数据。