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如何精确快速的测定薄膜的参数,一直是薄膜工作者非常关注的课题。在众多测量薄膜参数的方法中,反射光谱法备受人们的推崇,这主要是因为该方法具有测试简单、操作方便、测试范围广及精度高等诸多优点。国外基于此法的仪器已经达到相当高的精度,被广泛应用。然而国内对此法的报道很少,更没有发现相关仪器的介绍。这主要是因为制约该方法应用的瓶颈仍然是很难根据所测的光学量来直接求解薄膜的参数和解的多值性问题。本论文对反射光谱法及其测量系统做了详尽的分析与研究。内容分为三部分。第一部分,在阅读大量国内外文