本论文采用传统熔体冷却方法，研究了以TiO₂、ZrO₂和P₂O₅为成核剂，以含Na₂O的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂系统微晶玻璃为基础组成，通过二步法热处理制度制备出符合微电子机械系统（MEMS）静电键合要求的微晶玻璃材料。结合基础玻璃的线膨胀系数、转变温度和软化温度、梯温实验及差热分析（DTA）的结果综合分析，为确定较合理的热处理工艺提供了依据；利用X射线衍射（XRD）、透射电镜（TEM），高分辨率透射电镜（HREM），能谱（EDS）、电子选区衍射（SKD）等技术对微晶玻璃的物相组成和显微结构进行了分析。研究了玻璃成分及热处理制度对微晶玻璃的热膨胀系数、电阻率和强度的影响。 结果表明：在本实验的玻璃成分范围内，采用传统的熔体冷却方法和二步法热处理可获得透明的含Na₂O的Li₂O-Al₂O₃-SiO₂系统微晶玻璃。经热处理后，微品玻璃的主晶相为β-石英固溶体，其晶粒直径小于100nm，体积份数为30～50％。研究表明：不同的组成和热处理制度引起微晶玻璃微观结构的变化，而正是这种变化造成了微晶玻璃的宏观性质发生改变。