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以低温共烧陶瓷(LTCC)技术为基础的多层结构设计可有效减小器件体积,是实现元器件向小型化、集成化、高可靠性和低成本方向发展的重要途径。LTCC技术要求微波介质材料具有近零的谐振频率温度系数,可调的介电常数和尽可能高的Q×f值;同时能够在低于9200C的温度下烧结。Ba2Ti9O20陶瓷是优异的实用化微波介质材料之一,在4GHz下微波特性为:εr=39.8,τf=+2 ppm/℃,Q=8000。但是,单相Ba2Ti9O20陶瓷难于合成;另外,Ba2Ti9O20陶瓷烧成温度接近1400℃,如此高的烧成温度不但会造成Ti4+离子被还原为Ti3+离子,使微波介电性能恶化,同时也无法应用于LTCC技术中。
本论文的目的是,以Ba2Ti9O20陶瓷为基体材料,通过添加合适的玻璃助剂,研制出能够在低于920℃的温度下充分烧结,并且具有优良的微波介电特性的低烧陶瓷材料系统,并研究材料在烧结过程中的晶相组成、显微结构、微波介电性能之间的关系和规律性。
本论文开展的主要工作有:
1.首次研究了V2O5对合成单相Ba2Ti9O20陶瓷粉体的作用和影响。
2.系统研究了含V2O5的单相Ba2Ti9O20陶瓷的烧结过程和微波介电特性。
3.提出了二个新的低温烧结助剂玻璃系统,包括BaO-B2O3-TiO2(BBT)系统和BaO-B2O3-ZnO(BBZ)系统,全面、系统地研究这两个玻璃助剂与Ba2Ti9O20陶瓷的烧结过程,以及晶相组成、显微结构、微波介电性能、工艺参数等的互相关系及规律性,在此基础上获得了较理想的低烧材料。
本论文工作得到的主要结论是:
1.V2O5能非常有效地促进Ba2Ti9O20相的生成,并使Ba2Ti9O20相合成的温度降低约100℃。其机理主要是:在合成Ba2Ti9O20相的过程中,添加的V2O5在晶界处形成过渡型的低共熔液相,提高了固相反应物质的扩散速度,从而提高了Ba2Ti9O20相的成核速率。
2.Ba2Ti9O20陶瓷中掺加V2O5使烧结温度明显下降,并能显著提高Ba2Ti9O20相的高温稳定性;V2O5对Ba2Ti9O20陶瓷的介电性能也有显著影响,随着V2O5掺杂量的提高,陶瓷介电常数单调下降,Q×f值在V2O5含量为0.3wt%处出现极大值,τf值在该处出现极小值,介电性能的这些变化规律主要是由掺加了V2O5的Ba2Ti9O20陶瓷的烧结机理决定的。
3.BBT玻璃可以有效地降低Ba2Ti9O20陶瓷的烧结温度,使其从1375℃降低到1040℃,并保持材料具有优良的微波介质性能。掺加了BBT玻璃的Ba2Ti9O20陶瓷烧结机理主要包括以下几个过程:1)BBT玻璃首先在较低温度晶化,析出BaTi(BO3)2、BaB2O4和BaB4O7等晶相;2)当温度高于860℃时,BaB4O7相熔化,与剩余玻璃相一起形成大量低粘度液相;3)在900~1040℃范围内,样品迅速完成液相反应烧结,该过程涉及低粘度玻璃液相与Ba2Ti9O20反应生成BaTi(BO3)2相,也包括在液相作用下的晶粒长大、气孔排除等过程。
4.添加BBT玻璃的Ba2Ti9O20陶瓷在烧结后由Ba2Ti9O20和BaTi(BO3)2相组成;随着玻璃添加量的增多,BaTi(BO3)2相的占比增大,导致陶瓷的介电常数下降,可值逐渐增大,但对品质因数影响并不大。通过控制BBT玻璃添加量,可以调节Ba2Ti9O20陶瓷的介电常数和谐振频率温度系数。
5.BBZ玻璃与BBT玻璃相比,可以更有效地降低Ba2Ti9O20陶瓷的烧结温度,使其从1375℃降低到900~940℃。BBZ玻璃与Ba2Ti9O20陶瓷的低温烧结是十分复杂的液相反应烧结过程,该烧结过程在低于880℃就已经明显开始,烧结过程中Ba2Ti9O20与玻璃液相发生了一系列化学反应,生成的产物涉及BaTi(BO3)2、TiO2、 Zn2TiO4及未知晶相等。
6.本论文重点研究的两种BBZ玻璃对Ba2Ti9O20陶瓷低温烧结的微波介电性能的影响,存在明显的差异:(1)随着BBZ-1(3582O3-30BaO-35ZnO)玻璃添加量的增加,样品的介电常数下降,Q×f值逐渐增大,τf值为负值并逐渐下降;(2)随着BBZ-2(5082O3-25BaO-25ZnO)玻璃添加量的增大,样品的介电常数下降,Q×f值逐渐增大,但是与BBZ-1玻璃相反的是,τf值为正值并逐渐增大;(3)将两种BBZ玻璃按一定比例组成复合玻璃添加剂,在不影响Ba2Ti9O20陶瓷低温烧结的基础上,可以调节τf值趋于零。