超声波流量计具有非接触式测量、测量范围宽、安装简便等优点，在现代工业生产过程中被广泛应用。本文针对在现在半导体加工工业过程中的一类特殊超声流量计要求，对具备典型的低信号情况（原始信号仅有几mv，与噪声是同级别的），小管径，及较复杂情况（流质可能不同，以及可能存在气泡），提出了完整的解决方案，并介绍了其实现结果。　　论文基于时差法的处理方案，主体采用Atmel公司生产的atmega32作为主控制器，通过级联滤波放大方式处理弱信号、强噪声问题，使用Acam公司生产的时间数字转换芯片TDC-GP2作为计时器，构造了基本的测量系统。　　论文采用自动增益放大的方式来处理不同液体的问题，使得期望信号到达检测电路之前保证其幅值大小基本接近，采用提高测量效率的方法来处理气泡问题。　　实验测量结果表明，所设计的系统已基本达到初期研究目标。首先，实现了准确的流量测量;其次，关于不同液体的测量达到了适应性;最后，在有气泡的情况下取得了一定的效果。