一种组合式超高真空磁控泵-规的性能

来源 :光电子学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sqe622
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文报导把超高真空磁控泵和磁控真空规组合成一种有便携电源(电池)的单一部件而设计的三只磁控泵-规上的试验结果。泵-规的钛阴极是可以更换的,通常工作在压强7×10~(-9)到1.5×10~(-4)帕范围。作为规管其灵敏度约为1.5×10~(-2)安/帕,作为泵对氪气的抽速约为0.15×升/秒。 This article reports the experimental results of three magnetron pump-gauges designed to combine an ultra-high vacuum magnetron pump and a magnetron vacuum gauge into a single unit with a portable power supply (battery). Pump-gauge titanium cathode can be replaced, usually working in the pressure of 7 × 10 ~ (-9) to 1.5 × 10 ~ (-4) Pa range. As a regulation of its sensitivity of about 1.5 × 10 -2 amperes / Pa, as pumping krypton gas pumping speed of about 0.15 × L / sec.
其他文献
本工作对α-乙酰基-γ-丁内酯与Fe3+的显色条件进行了系统的研究。结果表明:在酸性水溶液中,α-乙酰基-γ-丁内酯与Fe3+生成紫色的稳定配合物,最大吸收波长位于555nm处,其吸
期刊
本文在简要介绍了近贴聚焦象管的特性参量之后,着重介绍了在阴极真空传递技术和荧光屏工艺方面取得的进展,综述了近贴聚焦象管的当前水平及其应用与发展前景。 After brief
一、引言 集成电路,尤其是大规模集成电路(LSI)这项综合性技术的发展,离不开高纯气体。去年二个接我所4KRAM产品的工厂,其管芯成品率接近和超过我所(20%),另外我们在引进生产
本文对大量的合金型P-N结结面的“光滑、平整”情况,作了许多观测结果的报导,并分析了产生多结角的原因及其对P-N结击穿特性的影响,解剖、观测结果证明,欲获得平整、光滑的合
著名的中南海摄影师、中国女摄影家协会前主席侯波,是从延安走出来的共和国第一代女摄影家。半个多世纪以来,她紧随历史的脚步,用镜头真实记 The famous Zhongnanhai photog
复古,反而会成为一种时髦,这好像合乎一种艺术规律。我们会在现今的时尚中,回复到六十年代、三十年代,甚至十八世纪。不知道重拍老片跟这样的风尚有没有关联,好莱坞一向有这
宋代教育家朱熹曾说过,“学贵有疑”.在思品的教学过程中,我经常鼓励学生要学会质疑,而作为老师,我们也在不断反思怎样才能提高课堂提问的质量.西方学者德加默也说过:“提问
一、中学政治课堂教学内容生活化的基本含义rn教学内容生活化指的是课堂教学的内容应及时全面地反映社会发展的状态,要适应、包容全体学生灵活主动地发展,有助于教学目标实现
分析先进制造技术的实质以及煤机行业现状,对现阶段科技型煤机企业已采用的各种模式进行阐述,指出先进制造技术在科技型煤机企业的应用前景。 Based on the analysis of the