Reliability Analysis of Lithography Wafer Stage Based on Fuzzy Bayesian Networks

来源 :Journal of Donghua University(English Edition) | 被引量 : 0次 | 上传用户：wagegea

【摘要】

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Bayesian network( BN) is a powerful tool of uncertainty reasoning. Considering the insufficient information,incorporating fuzzy probability into BN is an effect

【作者】

：

韩晓萌李彦锋刘宇黄洪钟

【机构】

：

SchoolofMechanicalElectronicandIndustrialEngineering

【出处】

：

Journal of Donghua University(English Edition)

【发表日期】

：

2014年6期

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Bayesian network( BN) is a powerful tool of uncertainty reasoning. Considering the insufficient information,incorporating fuzzy probability into BN is an effective method. Fuzzy BN was used to solve this problem. In this paper,fuzzy BN was applied in wafe

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