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采用电弧离子镀技术制备了不同成分的Cr—O—N薄膜作为NiCrAlY涂层与高温合金基材DSM11之间的扩散阻挡层．研究了不同O2和N2流量对Cr—O—N薄膜的相含量的影响及对NiCrAlY／CrON／DSMl1体系薄膜结合强度的影响．实验结果表明，Cr—ON是由Cr2O3和CrN组成的多晶膜，两相的相对含量随O2和N2流量改变而发生变化．扩散阻挡层抑制元素扩散的同时降低了NiCrAlY涂层与基体间的结合强度，且随着阻挡层中氧含量的增加结合强度逐渐下降．适当的氧含量可以使NiCrAlY／CrO—N／DSM1