基于时间平均干涉法的微结构离面运动测量

来源 :天津大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：szf_2009

【摘要】

：

微机电系统（MEMS）动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位．提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法．该系统基于Mirau显微干涉技术，以时间平均干涉法

【作者】

：

陈津平郭彤胡春光栗大超胡晓东傅星胡小唐

【机构】

：

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出处】

：

天津大学学报

【发表日期】

：

2006年B06期

【关键词】

：

微结构时间平均干涉法离面运动快速测量 micro-structure time-averaged interferometry out-of-plan

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微机电系统（MEMS）动态特性的测量在MEMS研发过程中具有极为重要的地位．提出一种用于微结构离面运动快速测量的光学测试系统及方法．该系统基于Mirau显微干涉技术，以时间平均干涉法实现可动微结构离面动态特性的测量-系统采用4步相移调制方法得到调制干涉条纹对比度的零级Bessel函数分布．在微谐振器件上进行的实验说明系统可以测量任意频率的离面运动，水平分辨力在微米范围内，离面探测极限在5nm左右．

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