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对微位移驱动器的迟滞非线性系统建模和控制研究的现状分析，得知目前的迟滞非线性补偿控制主要是针对单环情况进行，而对多环迟滞补偿控制仍然很困难。通过对多环形成的原理研究，微位移驱动器控制信号可以被分解，使迟滞主环与次环分离。然后对所有的单环信号分别进行逆模型补偿后叠加输入迟滞非线性系统，得到了满意的补偿结果。