纯Cr涂层厚度对涂层微观结构及抗高温氧化性能的影响

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yu782072350
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采用磁控溅射技术,在锆合金表面制备纯Cr金属涂层.探索纯Cr涂层厚度对抗高温氧化性的影响。利用扫描电镜分析涂层表面与截面形貌;采用X射线衍射对涂层进行物相分析;利用划痕仪分析涂层厚度对膜基结合力的影响;研究不同厚度的纯Cr涂层对涂层抗高温氧化性能影响。结果表明:随着涂层增厚,涂层表面孔洞数量呈越少趋势;涂层厚度不会影响涂层的择优取向与晶粒尺寸大小;涂层厚度为5.5μm,涂层的结合力最大;涂层的氧化增重随着涂层增厚,先减小后增加,涂层厚度为5.5μm,氧化增重最小。 Pure Cr coating was prepared on the surface of zirconium alloy by magnetron sputtering, and the effect of pure Cr coating thickness on high temperature oxidation resistance was explored. Scanning electron microscopy (SEM) was used to analyze the surface morphology and cross-section morphology of the coating. Phase analysis of the coating was carried out by X-ray diffraction. The influence of coating thickness on the bond strength was analyzed by scratch tester. Layer high temperature oxidation resistance. The results show that with the thickening of the coating, the number of holes on the surface of the coating tends to decrease. The thickness of the coating does not affect the preferred orientation and grain size of the coating. The coating thickness is 5.5 μm and the cohesion of the coating is the largest The weight gain of the coating increases with the thickness of the coating, then decreases and then increases. The thickness of the coating is 5.5μm, and the weight gain of the coating is the smallest.
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