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本文从AlN材料的物理特性入手,并阐述了其在电子器件的广泛应用.介绍了国内外的AlN单晶生长历程,到目前AlN单晶生长的最高水平.最后给出了AlN单晶材料的未来发展趋势.
AlN晶体生长综述
【摘 要】
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本文从AlN材料的物理特性入手,并阐述了其在电子器件的广泛应用.介绍了国内外的AlN单晶生长历程,到目前AlN单晶生长的最高水平.最后给出了AlN单晶材料的未来发展趋势.
【机 构】
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300220,中国电子科技集团公司第46研究所 天津
【出 处】
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数字化用户
【发表日期】
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2018年48期
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