国家纳米计量标准体系的初步建立

来源 :计量学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：stephenz2

【摘要】

：

中国计量科学研究院经过多年研究,初步建立了国家纳米计量溯源体系,包括有:纳米几何结构计量标准装置、毫米级纳米几何结构计量标准装置、扫描探针显微镜校准装置、扫描电子

【作者】

：

高思田宋小平李琪施玉书李伟任玲玲李适王鹤群

【机构】

：

中国计量科学研究院

【出处】

：

计量学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

计量学纳米几何结构关键尺寸溯源计量装置 Metrology Nano geometric structure CD size Traceability

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中国计量科学研究院经过多年研究,初步建立了国家纳米计量溯源体系,包括有:纳米几何结构计量标准装置、毫米级纳米几何结构计量标准装置、扫描探针显微镜校准装置、扫描电子显微镜校准装置和纳米薄膜厚度校准装置.实现了对微纳台阶高度、线间隔、线宽、膜厚的校准定值,还可满足扫描探针显微镜、扫描电子显微镜等微纳测量仪器的校准,有力地支撑了国家半导体及NMES/MEMS制造的发展.

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