新一代GPS操作技术在纳米粗糙度评定中的应用

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基于新一代GPS标准体系中的操作和操作算子技术对纳米粗糙度的测量与评定规范进行了研究,以离线分析扫描电子显微镜(SEM)图像方法测量与评定线边缘粗糙度为例给出了相应的操作和操作算子,为规范纳米粗糙度的测量和评定过程提供了一条可行之路。
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