SiGe/SiHBT离子注入自对准的研究

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【摘要】

：

介绍了离子注入技术自对准制作ＳｉＧｅ／ＳｉＨＢＴ的方法，分析了对器件特性的影响。 The method of self-aligned fabrication of SiGe / SiHBT by ion implantation is introduced, and the in

【作者】

：

邹德恕高国陈建新沈光地张京燕杜金玉邓军

【机构】

：

北京工业大学电子工程系

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

1998年05期

【关键词】

：

离子注入 SiGe/SiHBT 自对准基区器件特性电流增益异质结晶体管氧化层光刻工艺沟道效应

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介绍了离子注入技术自对准制作ＳｉＧｅ／ＳｉＨＢＴ的方法，分析了对器件特性的影响。 The method of self-aligned fabrication of SiGe / SiHBT by ion implantation is introduced, and the influence on device characteristics is analyzed.

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