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过去几年中，准分子激光研究只在高等学校的研究室中进行，目前正是由这一科学领域发展成新的工业。从发展图表可看出，在极短时间内商业准分子激光器的平均输出功率能从有限的初始功率提高到100 W。八十年代末可望提高到1 kW。与此同时,相应的应用领域也不断扩大。起初像其它激光器一样准分子激光器也占领了光谱学和物理化学的传统领域。随着它在激光同位素分离、紫外刻印和材料加工中有成效的应用，目前已被列入现代关键技术范围内。