【摘 要】
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介绍了长波红外2048元线列碲镉汞焦平面器件的制备技术和达到的性能参数．探测器采用离子注入平面pn结制备光敏元，通过间接倒焊技术和读出电路互联，采用8个256元焦平面模块拼接20
【基金项目】
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国家自然科学基金创新群体（60821092）资助项目
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介绍了长波红外2048元线列碲镉汞焦平面器件的制备技术和达到的性能参数．探测器采用离子注入平面pn结制备光敏元，通过间接倒焊技术和读出电路互联，采用8个256元焦平面模块拼接2048元线列焦平面器件．光敏元的响应截止波长达到9．9μm，相应的R0A达到10Ωcm^2，平均峰值探测率达到9．3×10^10cmHz^1/2W^-1，响应不均匀性为8％，有效光敏元率大于99．5％．
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