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将利用射频磁控溅射技术在Si（111）衬底上沉积的锌膜进行热氧化后，得到一维ZnO纳米棒。采用X射线衍射（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、透射电镜（TEM）研究了ZnO纳米棒的结构及表面形貌。实验结果表明上述ZnO纳米棒具有六角纤锌矿结构。金属Zn从SiO2基质中析出和O2发生反应在薄膜表面形成低维ZnO纳米棒。讨论了退火温度及退火时间对ZnO纳米棒形成的影响，并对其生长机制作了初步的探讨。