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1 引言围绕着半导体芯片的制造、设计、封装、测试以及相关支撑作用的材料设备等方面的技术是信息产业的基础--半导体技术。自从1965年Gordon Moore 提出著名的"摩尔定律"以来,世界半导体产业的发展遵循着这条规律,规律预示着半导体技术领域充满着剧烈的竞争与拼杀。最近Moore本人指出至少在近十年内还不会违背此规律。