Ti／Al／Ni／Au与n型GaN的欧姆接触研究

来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shigang_fly1

【摘要】

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通过电流-电压(I—V)特性和传输线方法(TLM)测量研究在n型CaN上淀积Ti／Al／Ni／Au电极形成欧姆接触的机制。Ni／Au作为Ti／Al的覆盖层起了阻止Ti，Al，Au的互扩散及抗接触层氧化的作用。在

【作者】

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陈志忠秦志新胡晓东于彤军童玉珍丁晓民杨志坚张国

【机构】

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北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室

【出处】

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高技术通讯

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

n型氮化镓欧姆接触电流-电压特性传输线法两步合金法

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通过电流-电压(I—V)特性和传输线方法(TLM)测量研究在n型CaN上淀积Ti／Al／Ni／Au电极形成欧姆接触的机制。Ni／Au作为Ti／Al的覆盖层起了阻止Ti，Al，Au的互扩散及抗接触层氧化的作用。在400℃到900℃范围内，Ti／Al／Ni／Au与n型GaN的接触电阻随温度升高先略有上升，到500℃以后单调下降。而表面形貌却在合金温度高于600℃以后随温度升高逐步变差。通过两步合金法得到了n—GaN上Ti／Al／Ni／Au形成的接触电阻低达9．65×10^-7Ωcm^2。最后还对两步

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